真空等離子處理，真空等離子清洗機 SPV-150 技術規(guī)格,等離子清洗機的結構主要分為五大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。
（實際外觀以出廠的為準）
（1）產(chǎn)品簡述
（1.1）等離子清洗的作用
等離子清洗的作用原理主要是：
（A）對材料表面的刻蝕作用--物理作用
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但
清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細
坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
（B）激活鍵能，交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV，因此等離子體作
用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵
形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結構，大大地激活了表面活性。
（C）形成新的官能團--化學作用
如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復雜的化學反應，引入新的
官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。
（1.2）產(chǎn)品原理
等離子清洗機的結構主要分為五大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣
體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。
（A） 控制系統(tǒng)：
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC
（B） 激勵電源系統(tǒng)：
電源：13.56MHz 的射頻激勵電源，
（C） 真空腔體：
鋁合金腔體，
（D） 工藝氣體系統(tǒng)：
工藝氣體：氬氫混合氣
（E） 真空泵：油泵主要采用雙級旋片油泵
（2.1）技術參數(shù)
電源系統(tǒng) | 美國 CERES 射頻電源，13.56MHz |
功率 0~600W 可調(diào)； |
|
美國 CERES 全自動真空電容匹配器 |
真空系統(tǒng) | 德國天津萊寶，TRIVAC 60T |
真空計：日本英?？灯だ嵴婵沼?/span> |
|
真空管路：全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
腔體系統(tǒng) | 鋁合金真空腔體，軍工級焊接密封，25mm 厚度 |
腔體內(nèi)部尺寸：450×450×500mm（寬×高×深） |
電極板布置方式：獨特豎電極板，可活動抽取 |
空間層數(shù)：3 豎隔 |
氣體系統(tǒng) | 氣壓閥，日本 SMC |
流量計，浮子流量計，0~300SCCM |
一路工藝氣體：氬氫混合氣體 |
控制系統(tǒng) | PLC，德國西門子 S 系列 |
觸摸屏，威綸通，七寸屏幕 |
電氣部件：德國施耐德品牌 |
其它參數(shù) | 外形尺寸：約 890×1745×1000mm（寬×高×深） |
重量：400KG |
顏色：銀灰色 |
（2.2）配置清單
名稱 | 描述說明 | 單位 | 數(shù)量 |
真空腔體 | 鋁合金真空腔體，尺寸：450×450×500mm（寬×高×深） | 個 | 1 |
射頻電源 | 美國 CERES 射頻電源，13.56MHz | 臺 | 1 |
功率 0~600W 可調(diào) |
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電源匹配器 | 美國 CERES 全自動真空電容匹配器 | 臺 | 1 |
PLC | 德國西門子，S7-200 | 個 | 1 |
觸摸屏 | 威綸通，MT6071iE | 個 | 1 |
流量計 | 氬氫混合氣 | 個 | 1 |
真空泵組 | 德國天津萊寶，TRIVAC 60T | 套 | 1 |
（3）安裝、調(diào)試、保養(yǎng)
（3.1）.裝卸要求：需提供插車；
（3.2）安裝環(huán)境要求：
A.三相 380V 的，五線（三根火線、一根零線、一根地線）供電電源，功率 5000W,4 平方線；
B.氣體，氬氫混合氣；
C.無水無油的壓縮空氣。
（3.3）安裝及調(diào)試過程需協(xié)助；如提供測試樣品及測試要求等。
（3.4）效果驗證：采用接觸角測試，對處理后的樣品進行量化評估，確保效果
和均勻性及穩(wěn)定性。
（3.5）保養(yǎng)：
A.為了更好的延續(xù)設備的使用壽命，我們的真空設備需要定期保養(yǎng),保養(yǎng)周
期：3 個月。
B.保養(yǎng)明細：
真空等離子設備保養(yǎng)表
項目 |
1 | 檢查抽空時間是否超標 |
2 | 檢查密封圈是否有裂痕 |
3 | 檢查視窗玻璃螺絲是否需緊固 |
4 | 檢查電極板插針是否需更換 |
5 | 檢查設備放電是否正常 |
6 | 檢查腔門感應開關接觸是否良好 |
7 | 更換過濾器濾芯 |
8 | 更換真空泵油 |
9 | 檢查真空泵密封 |
（4）耗材清單
1 | 更換泵油 | L | 5 | 3 個月更換一次 |
2 | 更換濾芯 | 個 | 1 |
|
3 | 工業(yè)氣體 | 瓶 | 1 | 一般使用一路氣體 |